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Φ83高流量系列滤芯直径为83mm,有多种滤膜材质和多种过滤精度可选择,具有高流速、低压差,化学相容性广泛等性能。专门设计用于液晶显示器生产过程中的湿制程过滤,如底板的清洗、刻板、DI水冲洗等。能满足标况下100L/min的流量要求。
Φ130超高流量系列滤芯适用于高世代液晶面板生产制造工艺,主要应用于在高流量要求的工艺点,单支滤芯能够达到超过200L/min的流量要求,超大过滤面积不仅具备高流量的性能,也提供了高的纳污量,能够减少设备停机次数。
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